对于芯片厂商而言,光刻机显得至关重要,而 ASML 也在积极布局新的技术。据外媒报道称,截至 2022 年第一季度,ASML 已出货 136 个 EUV 系统,约曝光 7000 万个晶圆已曝光。 按照官方的说法,新型号的 EUV 光刻机系统 NXE:3600D 将能达到 93% 的可用性,这将让其进 本文链接