目前全球仅 4 家厂商,能够制造光刻机,分别是荷兰的 ASML,日本的尼康、佳能,和上海的微电子。 从技术水平来看,ASML>尼康>佳能>上海微电子。如下图所示,ASML 的光刻机能够达到 3nm 的精度了,而尼康的主要在 28nm 及以上,而佳能、上海微电子的在 90nm 以上。 再给大家一个数字 本文链接